Криопумпа је вакуумска пумпа која користи површину ниске температуре за кондензацију гаса, позната и као кондензатна пумпа. Криопумпа може да добије чист вакуум са највећом брзином пумпања и најнижим крајњим притиском, и широко се користи у истраживању и производњи полупроводника и интегрисаних кола, као и у истраживању молекуларног снопа, опреме за вакуумско облагање, инструмената за анализу површине вакуума, јона. имплантати и симулација простора. уређаја итд.
Принцип пумпања Криопумпа је опремљена хладном плочом која се хлади на веома ниску температуру течним хелијумом или фрижидером. Кондензује гас и одржава притисак паре кондензата испод крајњег притиска пумпе, како би се постигао ефекат пумпања. Главне функције нискотемпературног пумпања су нискотемпературна кондензација, нискотемпературна адсорпција и хватање ниске температуре.
цриопумп
① Нискотемпературна кондензација: молекули гаса се кондензују на површини хладне плоче или на слоју кондензованог гаса, а равнотежни притисак је у основи једнак притиску паре кондензата. Када се пумпа водоник, температура хладне плоче је нижа.
②Адсорпција на ниској температури: Молекули гаса се адсорбују на површини адсорбента обложеном на хладној плочи са дебљином од једног молекуларног слоја. Равнотежни притисак за адсорпцију је много нижи од притиска паре на истој температури.
③Криогено заробљавање: Молекули гаса који се не могу кондензовати на температури екстракције су закопани и адсорбовани растућим слојем кондензованог гаса.